高性能聚焦光学元件是X射线检测技术获得高微区空间分辨率的关键器件。X射线组合折射透镜可有效地实现对高光子能量X射线的聚焦。X射线组合折射透镜基于折射效应工作,具有不改变光路、聚焦系统结构简单、尺寸小以及抗辐射损伤能力强等优点。 X射线组合折射透镜通常采用微纳光刻技术制备。


利用光刻技术制备的X射线折射棱镜(由KIT微结构研究所IMT制备),用于X射线聚焦。


参考文献
- Tao Liu, Rolf Simon, David Batchelor,Vladimir Nazmov and Michael Hagelstein, A desktop X-ray monochromator for synchrotron radiation based on refraction in mosaic prism lenses, J. Synchrotron Rad, 19 (2012) 191. (pdf file,1.06 MKB, download)
- Werner Jark, On easily tunable wide-bandpass X-ray monochromator based on refraction in arrays of prisms, J. Synchrotron Rad, 19 (2012) 492.